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UV紫外/EUV極深紫外激光光束質量分析儀可實現(xiàn)高分辨率實時空間光束的監(jiān)測、定量表征與強度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，覆蓋極寬的光譜范圍從近紅外到軟X射線（光譜范圍~ 1 …. 1100 nm），檢測器CCD芯片上量子轉換涂層保證了UV/EUV檢測的高靈敏度。
更新時間：2025-05-09
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