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激光光束分析儀是用于測(cè)量激光光束直徑、形狀和空間強(qiáng)度分布的儀器。光束直徑和空間強(qiáng)度分布是描述激光光束特性的重要參數(shù)，決定了激光光束光束質(zhì)量。

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高功率激光材料測(cè)試儀用于高功率激光器和極深紫外EUV源的光學(xué)部件性能綜合測(cè)量，且性能和參數(shù)測(cè)量基于ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

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